【摘 要】
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测量了研磨-退火硅样品的椭偏光谱,用OL模型和有效介质理论进行分析,发现椭偏谱的差分既不完全符合OL模型又不完全符合有效介质理论.我们发展了OL模型,把OL模型和有效介质理
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测量了研磨-退火硅样品的椭偏光谱,用OL模型和有效介质理论进行分析,发现椭偏谱的差分既不完全符合OL模型又不完全符合有效介质理论.我们发展了OL模型,把OL模型和有效介质理论结合起来,提出了一种改进的OL模型,特征上较好地与实验结果符合.
The ellipsometric spectra of the samples were measured and analyzed by the OL model and the effective medium theory. It was found that the difference between the elliptical spectra and the OL model was not completely consistent with the effective medium theory. We developed the OL model, Combining the model with effective medium theory, an improved OL model is proposed, which is in good agreement with the experimental results.
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