溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kongguoying

【摘要】

：

首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜，分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点，系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点，并分析了

【作者】

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吴亚雷吴建华褚家如

【机构】

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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

2006年05A期

【关键词】

：

溶胶-电雾化法 PZT薄膜升温控制 Sol-ESD PZT films warm-up temperature control

【基金项目】

：

教育部博士点基金资助（20030358018）,优秀青年教师资助计划项目和中国科学技术大学研究生创新基金

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首次提出了使用溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT压电陶瓷薄膜，分析了光纤表面PZT压电陶瓷薄膜的成膜机理与特点，系统的研究了溶胶-电雾化法制备PZT压电陶瓷薄膜的特点，并分析了前驱液浓度、电雾化条件、PZT压电陶瓷薄膜沉积过程温度等因素对于PZT压电陶瓷薄膜的表面质量的影响．针对整个工艺过程进行了优化，最终得到了表面质量较好的PZT压电陶瓷薄膜．

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