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简介薄膜应力的产生原因,根据薄膜应力测定方法研究的现状,对一些主要测定方法的基本原理及各自的特点进行了综述。
薄膜应力测定研究现状
【摘 要】
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简介薄膜应力的产生原因,根据薄膜应力测定方法研究的现状,对一些主要测定方法的基本原理及各自的特点进行了综述。
【机 构】
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重庆大学机械传动国家重点实验室
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2005年04期
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