溅射于NiMnCo上的TiO2薄膜的结构与相变

来源 :吉林大学学报:理学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sqlwcsqlqs
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利用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜. X射线衍射结果表明, 在NiMnCo合金基底上成功地沉积了具有金红石、金红石/锐钛矿和锐钛矿结构的TiO2薄膜, 工作气压从0.2 Pa变化到2 Pa, TiO2薄膜的结构由金红石相变到锐钛矿相. 低于600 nm时, 厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响.
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