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介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
大角度离子注入机控制系统软件设计
【摘 要】
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介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能。
【机 构】
：
国防科技大学,中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2008年6期
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