【摘 要】
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对Si基槽型（slot）光波导的传输特性进行了研究。采用三维时域有限差分（3D—FDTD）法研究了芯层中的光功率与波导槽型宽度及Si条带宽度之间的关系，结果显示，槽型光波导具有很好的光功
【机 构】
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武汉理工大学信息工程学院,中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室,武汉理工大学光纤传感技未与信息处理教育部重点实验室
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对Si基槽型（slot）光波导的传输特性进行了研究。采用三维时域有限差分（3D—FDTD）法研究了芯层中的光功率与波导槽型宽度及Si条带宽度之间的关系，结果显示，槽型光波导具有很好的光功率约束效率，可以达到30％以上；分析了光功率的变化规律及其优化，综合考虑光功率和光功率密度确定波导结构参数，实现最佳光功率分布，横向光功率分布沿x轴方向具有很好的约束效果，沿Y轴方向呈现高斯分布；分析了底部si薄层对光功率的影响，100nm的底部si薄层使得芯层的光功率下降50％，减小底部Si薄层厚度有利于光功率约束效率的
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