Ta-微晶CeO2扩散壁垒材料

来源 :稀土信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liuzhenguo_09

【摘要】

：

铝由于跟硅一起加工的相容性,现在被用作大规模集成电路的金属化材料,铜由于具有低的体电阻率和优良的电迁移阻抗,似乎更好一些。但由于铜易氧化,而且在200℃这样低的温度下

【作者】

：

李鑫德

【出处】

：

稀土信息

【发表日期】

：

1998年12期

【关键词】

：

扩散壁垒 CeO2 大规模集成硅化物体电阻率微晶电迁移铜金属化相容性高速微处理器

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

铝由于跟硅一起加工的相容性,现在被用作大规模集成电路的金属化材料,铜由于具有低的体电阻率和优良的电迁移阻抗,似乎更好一些。但由于铜易氧化,而且在200℃这样低的温度下即可扩散到硅中并形成铜的硅化物。为了避免大规模集成电路中硅元件的降解,要求在硅和铜之间有一个扩散壁垒。钽是一种重要的壁垒材料,它的熔点高,这样

其他文献

一类不定方程

本文给出并证明了关于不定方程a^b＋c^d=e^f（a,b,c,d,e,f∈{n,n＋l,n,n∈N}）的几个定理，其中a，b，c，d，e，f中有三个是n，两个是n＋1，一个是n＋2

期刊

不定方程正整数解diophantine equation theorem

提高化学实验探究能力，轻松迈进新课程

探究性实验是培养具有创新人才的一种好方法,作为未来化学教师的师范生应该掌握探究性化学实验设计的方法.本文借助典型实例,阐述了探究性化学实验的设计原则和过程.

期刊

探究性化学实验探究能力设计原则researching chemical experiment research ability chalk out pr

略谈“全纳教育”理念下的中职数学课堂教学改革

中职学校数学课程是一门重要的文化基础课，目前课堂教学中存在的问题尚十分突出。因此．必须树立“全纳教育”理念，进一步改革课堂教学。唤醒学生学习兴趣，使人人参与，人人学有所得

期刊