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高温气相合成超细氮化钛反应速率的研究
高温气相合成超细氮化钛反应速率的研究
来源 :皮革科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cyhacmacyh007
【摘 要】
:
本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了 TiCl4—NH3—H2—N2系统在高频等离子反应器中气相合成超细 TiN 粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了
【作 者】
:
朱联锡
邹四维
【机 构】
:
成都科技大学环境科学及工程系,成都科技大学环境科学及工程系
【出 处】
:
皮革科学与工程
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
氮化钛
等离子法
气相合成
plasma
Titanium Nitride
Reaction Kinetics
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本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了 TiCl4—NH3—H2—N2系统在高频等离子反应器中气相合成超细 TiN 粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了分析,为控制 TiN 产品的质量及对等离子反应器的优化设计提供了理论依据。
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