直流脉冲条件下铝金属化层的失效行为

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铝和硅的热膨胀系数不同,在交变温度场的作用下,铝金属化层中产生交变压应力而使其产生表面再结构。铝条发生再结构后,由于塑性变形而变宽,表面上形成“皱纹”、“小丘”以及“晶须”等。这些均会导致器件的极间短路或断路。铝金属化层的表面再结构是一种潜在的损坏机制。 The thermal expansion coefficients of aluminum and silicon are different. Under the action of alternating temperature field, alternating compressive stress is generated in the aluminum metallization to produce surface re-structure. After reorganization of aluminum strip, due to plastic deformation and broaden the surface of the formation of “wrinkles”, “hillocks” and “whisker” and so on. These can cause very short circuit or open circuit of the device. Surface reworking of the aluminum metallization is a potential mechanism of damage.
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