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真空技术在航空工业发展中得到越来越广泛的应用,以满足新型飞机高速发展对航空机电部件制造提出的越来越苛刻的技术要求.本文初步探讨了真空技术在:纳米加工、微电子电路、平板显示器件、光电传感器和微机电系统制造等航空机电产品关键制造技术开发中的应用.
真空技术在航空机电部件制造中的应用
【摘 要】
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真空技术在航空工业发展中得到越来越广泛的应用,以满足新型飞机高速发展对航空机电部件制造提出的越来越苛刻的技术要求.本文初步探讨了真空技术在:纳米加工、微电子电路、
【机 构】
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清华大学热能系(北京)
【出 处】
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中国真空学会薄膜技术学术研讨会
【发表日期】
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2003年9期
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