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概述了扫描电子束曝光机的检测对准原理,介绍了背散射电子信号特性及其在对准技术中的作用,并对背散射电子检测电路的组成和工作原理进行了阐述.同时给出了一种背散射电子检测电路实验装置的框图和原理图,所设计的多级滤波电路和PCB板的布线方式实现了对模拟信号处理电路噪声的抑制,从而得到了清晰的专用对准标记形貌图像.