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薄膜体声波谐振器及其应用
薄膜体声波谐振器及其应用
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mingdongbn
【摘 要】
:
综合阐述薄膜体声波谐振器技术,简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程,对其物理模型和等效电路模型进行了同顾,对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析,并讨论了其使
【作 者】
:
池志鹏
赵正平
吕苗
杨瑞霞
【机 构】
:
河北工业大学信息工程学院,河北半导体研究所微米纳米中心
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
体声波
谐振器
滤波器
bulk acoustic
resonator filter
【基金项目】
:
ASIC国防重点实验室资助项目(51432050205DZ2304)
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综合阐述薄膜体声波谐振器技术,简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程,对其物理模型和等效电路模型进行了同顾,对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析,并讨论了其使用的压电材料和电极材料,最后给出了该器件在微波领域的典型应用和相关指标。
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