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综合阐述薄膜体声波谐振器技术，简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程，对其物理模型和等效电路模型进行了同顾，对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析，并讨论了其使用的压电材料和电极材料，最后给出了该器件在微波领域的典型应用和相关指标。
薄膜体声波谐振器及其应用
【摘 要】
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综合阐述薄膜体声波谐振器技术，简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程，对其物理模型和等效电路模型进行了同顾，对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析，并讨论了其使
【机 构】
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河北工业大学信息工程学院,河北半导体研究所微米纳米中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2006年5期
【基金项目】
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ASIC国防重点实验室资助项目（51432050205DZ2304）
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