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带电离子在样品内输运过程中的能量歧离、探测立体角有效范围及探测系统噪声都将改变中子深度分析(NDP)的多道离子能谱分布。假定上述三种因素导致的离子探测谱能量展宽都可以采用高斯函数描述,基于一般条件下的NDP装置设计,建立了预测一定深度核素产生的离子测量谱的探测器响应函数物理模型。该模型的理论分析结果与实验测量能谱的峰位、半高宽均符合良好,能够作为中子深度分析测量谱反演分析的基础。