【摘 要】
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增强对比度是光刻工艺中的一个关键性问题,对提高管芯成品率和可靠性都有重要作用。本文介绍一种新的对比度增强剂,在常规抗蚀剂层上旋涂一层这种增强剂(简称CEL),再进行常
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增强对比度是光刻工艺中的一个关键性问题,对提高管芯成品率和可靠性都有重要作用。本文介绍一种新的对比度增强剂,在常规抗蚀剂层上旋涂一层这种增强剂(简称CEL),再进行常规腐蚀和显影,就可达到增强对比度的目的。
Increasing contrast is a key issue in lithography and plays an important role in improving die yield and reliability. This article describes a new contrast enhancer, spin on the conventional resist layer with a layer of this enhancer (referred to as CEL), and then conventional etching and development, to achieve the purpose of enhancing contrast.
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