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利用化学水浴法（CBD）在玻璃衬底上制备CdS薄膜,并对其进行低温热处理,研究热处理时间和热处理温度对CdS薄膜性能的影响。研究发现,在100℃进行5 min热处理后,CdS薄膜的光学特性、晶体结构和电学性能都较热处理前得到改善,作为缓冲层材料可以很好地应用于高效铜铟镓硒（CIGS）薄膜太阳电池。