Etching Fused Quartz With CHF<sub>3</sub>/Ar

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoshen1984
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报道了用氟利昂CHF3和氩气Ar作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术,研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响,并分析了刻蚀工艺对样品表面的污染,同时也考察了刻蚀工艺的均匀性和重复性。为了优化刻蚀工艺,采用Rs1/Discover软件工具设计优化实验。实验中射频等离子体功率在120~160W范围,氩气和氟利昂流速分别在15~35scm和20~50sccm范围,腔压在100~140mTor范围,相应的刻蚀速度为15~25nm/min。
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