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混合气体.相关论文
Etching Fused Quartz With CHF<sub>3</sub>/Ar
报道了用氟利昂CHF3和氩气Ar作工作气体的反应离子刻蚀融石英的技术,研究了气体流速、腔压和射频等离子体功率对刻蚀速度的影响,并分析了刻......
期刊
石英
离子腐蚀
多层位相结构
混合气体.
Quartz
Ion etching
Multilevel phase structures
Mixed gases.
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