【摘 要】
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为了研究(111)衬底的特性以及实现等边三角形微腔激光器，利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)研究了(111)A InP衬底上InGaAsP外延层的表面形貌和光学特性。考虑到(111)A InP衬底
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,兰州大学物理科学与技术学院
【基金项目】
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国家“8 63”基金项目 ( 2 0 0 3AA3 110 70 ) ;国家重大基础研究项目 (G2 0 0 0 0 3 660 6)
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为了研究(111)衬底的特性以及实现等边三角形微腔激光器，利用金属有机化学气相淀积(MOCVD)研究了(111)A InP衬底上InGaAsP外延层的表面形貌和光学特性。考虑到(111)A InP衬底的悬挂键密度比较低，在生长过程中有意提高了V／Ш比。通过扫描电子显微镜(SEM)和光荧光(PL)谱分别研究了外延层的表面形貌和光学特性。实验发现，表面形貌和光学特性随V／Ш比和温度的变化非常大。最佳V／Ш比和温度分别为400和625℃。
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