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KMC模拟薄膜生长反常效应的研究

来源 :第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：vbsunboy

【摘 要】

：

以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成

【作 者】

：

郑小平 张佩峰 贺德衍 郝远 

【机 构】

：

兰州城市学院,电子信息科学与技术研究所,兰州,730070;兰州理工大学,甘肃省有色金属新材料重点实验室,兰州,730050兰州城市学院,电子信息科学与技术研究所,兰州,730070;兰州大学,物理科

【出 处】

：

第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会

【发表日期】

：

2008年10期

【关键词】

：

KMC模拟 薄膜生长 反常效应 扩散理论 表面活化剂 

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以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成核,这一反常效应是由于表面活化剂原子比沉积原子更容易被激活扩散造成的.活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,交换比并非恒等于1,而是与温度、入射率、成膜厚度等多种因素有关.

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