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通过测量二维工作台XY轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精度。
提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究
【摘 要】
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通过测量二维工作台XY轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,中国电科电子装备集团有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年1期
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