缩小投影电子束曝光系统的成像反差

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结合原理说明了理想条件下的照明束与角度限制光阑可获得最佳成像反差 ,详细讨论了照明束与角度限制光阑处于非理想情况时对成像反差的影响及理想条件的调试方法 Combining the principle shows that the optimal imaging contrast can be obtained between the illumination beam and the angle limiting diaphragm under the ideal conditions. The influence of the illumination beam and the angle limiting diaphragm on the imaging contrast and the debugging method of the ideal condition are discussed in detail
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