【摘 要】
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本文用 DLTS 方法测量深能级的浓度分布时,引入了有效发射宽度概念,很好地反映了空间电荷区边界层的影响。用它作为测量深能级浓度分布的一个主要参量,非常方便。
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本文用 DLTS 方法测量深能级的浓度分布时,引入了有效发射宽度概念,很好地反映了空间电荷区边界层的影响。用它作为测量深能级浓度分布的一个主要参量,非常方便。
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