Pt/InP界面反应形成磷化铂的证据

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hexinyu2005
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用XPS测量了Pt/InP肖特基接触界面的芯态谱和价带谱,结合AES测量,提出了在界面形成磷化铂的实验证据.同时也测到Pt4f两自旋分裂峰强度比随光电子发射角的反常变化. The core-state spectra and valence band spectra of Pt / InP Schottky contact interface were measured by XPS, and the experimental evidence of the formation of platinum phosphide at the interface was proposed in combination with AES measurement. At the same time, the peak intensity ratio of two spin splitting peaks of Pt4f Anomalous changes in photoelectron emission angle.
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