【摘 要】
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自动x射线检测（AXI）已经成为检测和评估复杂微机电系统（MEMS）和微光电子机械系统（MOEMS）的基本方法．在医疗、考古等领域也有了广泛应用，而稳定可靠高效的直流高压电源是AXI的核心组件
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自动x射线检测（AXI）已经成为检测和评估复杂微机电系统（MEMS）和微光电子机械系统（MOEMS）的基本方法．在医疗、考古等领域也有了广泛应用，而稳定可靠高效的直流高压电源是AXI的核心组件。一般的高压直流电源为定值输出，它们在X射线管这样的宽负载变化范同下的稳态和暂态响应不能满足AXI的要求。基于AXI的需要．本文介绍了一种最新研制的可调高压电源．创新型的主电路拓扑结构由PFC（功率因数校正）模块、Buck模块、逆变电路、高频变压器和倍压电路组成。电源利用变乐器的寄生参数谐振工作．利用软开关技术实现了
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