氨化时间和膜厚对Si（Ⅲ）上AIN薄膜生长取向的影响

来源 :山东师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：y5603179

【摘要】

：

采用磁控溅射技术在Si（Ⅲ）衬底上沉积了Al膜，在高温炉中使之与氨气反应制备／AIN薄膜．利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜等研究了薄膜的结构、成分以及表面形貌．结果表明不

【作者】

：

胡丽君庄惠照薛成山薛守斌张士英李保理

【机构】

：

山东师范大学物理与电子科学学院

【出处】

：

山东师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

磁控溅射择优取向 AIN r.f. magnetron sputtering epitaxial growth AIN film

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用磁控溅射技术在Si（Ⅲ）衬底上沉积了Al膜，在高温炉中使之与氨气反应制备／AIN薄膜．利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜等研究了薄膜的结构、成分以及表面形貌．结果表明不同氨气作用时间会使薄膜表现出不同的择优生长取向，同时不同厚度的Al薄膜也会在氨气作用后生成不同择优生长取向的A1N薄膜．

其他文献

修建“青枣铁路”的必要性分析

铁路作为山东省居民长途旅行和大宗物资运输的主要工具,在方便人民生活和促进国民经济的发展中,发挥着越来越重要的作用.本文设想的'青枣铁路'将完善山东铁路网布局,

期刊

青枣铁路连接性修建山东省Qing Zao Railway'link buildingShandong Provin ce

基于流分类技术的MPLS协议数据转发研究

针对MPLS协议的数据转发问题，研究了MPLS协议数据转发单元中的各个模块的作用，详细介绍了分类器和转发器的功能．提出了一种新的流分类算法，应用到分类器当中，可大大提高分类的效率

期刊

MPLS流分类算法分类器转发器MPLS packet classification algorithm classifier distributo

连通、N2-局部连通、K1，4-受限图的哈密顿性

证明如下结论:设G是连通、N2-局部连通、δ≥6的K1.4-受限图,如果G中不含有同构于G1,G2或G3的导出子图H,则G含哈密顿圈.

期刊

K14-受限图N2-局部连通哈密顿性K14-restricted graphN2-locally connected graphhamiltoni

南水北调东线工程水环境污染事故预防与应急对策研究

南水北调工程水质安全事关国计民生，而突发性水环境污染事故对水质安全构成了重大威胁，有必要对工程突发性水环境污染事故预防与应急处理措施进行全面研究．本文从分析南水北调东

期刊

南水北凋乐线上程水环境污染事故预防控制应急处理south - north water transfer the east route projec

财政资金分流的成因及对策

财政资金分流的成因及对策刘华生，张炳文，吴玉霞财政与银行是国家管理资金和分配资金的两个主管部门．财政性存款作为中央银行基础货币的重要组成部分，对于中央银行加强宏观调控职

期刊

资金分流财政资金中央银行预算外资金非银行金融机构财政性资金基础货币专业银行人民银行存款

精神文明系统模型分析

【正】坚持四项基本原则和改革开放两个基本点,坚持物质文明和精神文明建设“两手抓”,是建设有中国特色的社会主义的客观要求。人类的精神生活现象和精神文明,从系统论的观

期刊

社会精神文明群体精神系统模型精神生活精神文明建设群体关系主导性个体精神理想性人类精神

扫描电镜加工铌酸锂晶体电畴反转光栅的研究

本文简单介绍了非线性晶体相位匹配和铌酸锂光波导准相位匹配倍频原理，开展了扫描电子显微镜电子束辐照反转极化实验，分析了实验结果，摸索出合适的工艺条件，证明利用扫描电镜可以

期刊

准相位匹配二次谐波电畴反转铌酸锂晶体quasiphasematchingsecond harmonic generationdomain inversi

氮在海洋生态系统富营养化中作用的认识历程

人类全球化进程的加速,使得污染日益严重,富营养化问题突出,海洋生态系统的生产力和生态功能受到了巨大威胁.笔者总结了20世纪70年代以来,氮作为海洋生态系统限制性因素被认

期刊

氮富营养化海洋生态系统环境保护nitrogen eutrophication marine ecosystem environmental

基于知识管理的景区管理优化研究——以镇江茅山风景区为例

随着全球化经济的发展以及科技的进步，景区的经营环境发生了变化，景区间的竞争也日益激烈，在这种情况下，知识管理成为景区赢得竞争优势的一种有效的途径．本文首先阐述了旅游景区知

期刊

知识管理旅游景区茅山风景区knowledge management scenic spots Mount Mao

短期资金市场刍议

【正】按照计划经济与市场调节有机的经济运行机制要求,“八五”期间金融市场发展的重点应是建立以同业拆借和票据贴现为主的短期资金市场。其理由是: 一、搞活资金存量的需

期刊

短期资金市场同业拆借拆借市场票据贴现市场专业银行市场调节基层行信贷计划元流国家银行

氨化时间和膜厚对Si（Ⅲ）上AIN薄膜生长取向的影响

与本文相关的学术论文