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SnO2薄膜的溶胶—凝胶制备及气敏性能的研究
SnO2薄膜的溶胶—凝胶制备及气敏性能的研究
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sweetmeimei
【摘 要】
:
采用非醇盐溶胶-凝胶工艺制得纳米微晶SnO2多孔薄膜,该法易于实现SnO2与多种添加剂的均匀掺杂。通过调整薄膜的微观结构使薄膜对C2H5OH和CO在最佳工作温度的灵敏度比调整前分别提高了3倍和14倍。
【作 者】
:
林殷茵
杨合情
【机 构】
:
西安交通大学电子材料与器件研究所
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
薄膜
溶胶-凝胶
气敏材料
纳米微晶
二氧化锡
SnO2
thin film
SolGel
gas sensor
nanocrystallite
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采用非醇盐溶胶-凝胶工艺制得纳米微晶SnO2多孔薄膜,该法易于实现SnO2与多种添加剂的均匀掺杂。通过调整薄膜的微观结构使薄膜对C2H5OH和CO在最佳工作温度的灵敏度比调整前分别提高了3倍和14倍。
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