高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨

来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pldpl
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本文介绍了在适当改装后的长刻线机上,采用刀刻与光刻相配合的方法,制作高精度直线感应同步器母版的工艺过程,并讨论了影响母版精度的有关因素。
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