Al靶中稀土Y含量对薄膜CrAlTiN的影响

来源 :吉林大学学报(工学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:zmy_java
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研究了Al靶中加入不同含量的稀土Y对CrAITiN薄膜的影响。应用SEM、EDS、XPS、显微硬度计对薄膜样品进行分析。结果表明,在Al靶材中加入稀土Y后,不但提高了薄膜的厚度,而且随着稀土Y含量的增加,薄膜的表面相逐渐由CrN、Cr2N向Cr变化,Al的含量也是随着Y含量的增加而增加。CrAITiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低,并且随着Y含量的升高而逐渐趋于1500HV。
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