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研究了Al靶中加入不同含量的稀土Y对CrAITiN薄膜的影响。应用SEM、EDS、XPS、显微硬度计对薄膜样品进行分析。结果表明，在Al靶材中加入稀土Y后，不但提高了薄膜的厚度，而且随着稀土Y含量的增加，薄膜的表面相逐渐由CrN、Cr2N向Cr变化，Al的含量也是随着Y含量的增加而增加。CrAITiN薄膜的硬度随着稀土Y含量的升高而降低，并且随着Y含量的升高而逐渐趋于1500HV。