【摘 要】
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为了满足激光焦点控制系统的位置和速度响应要求,设计了一种轴向放置、轴向磁化的环形永 磁体自复位的3自由度激光焦点磁力驱动微动平台.根据该微动平台的结构进行力学分析并
【机 构】
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沈阳工业大学机械工程学院,日本工业大学
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51105257,51310105025）
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为了满足激光焦点控制系统的位置和速度响应要求,设计了一种轴向放置、轴向磁化的环形永 磁体自复位的3自由度激光焦点磁力驱动微动平台.根据该微动平台的结构进行力学分析并建立动力学方 程,在此基础上进行微动平台的比例、积分、微分控制实验和鲁棒控制实验.通过两种不同控制策略的对比 分析,结果表明,两种控制策略都能实现微动平台的稳定驱动,但是在比例、积分、微分控制策略下,响应速度 更好,在鲁棒控制策略下,抗干扰能力更好.
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