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本文给出单喷嘴移动火焰在大气条件下合成大面积金刚石薄膜的初步试验结果。用喇曼光谱、扫描电镜分析了膜的结构和形貌。试验表明，移动火焰法能合成大面积高质量的金刚石薄膜，薄膜的质量、均匀性强烈取决于沉积温度。
火焰法合成大面积金刚石薄膜的初步研究
【摘 要】
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本文给出单喷嘴移动火焰在大气条件下合成大面积金刚石薄膜的初步试验结果。用喇曼光谱、扫描电镜分析了膜的结构和形貌。试验表明，移动火焰法能合成大面积高质量的金刚石薄膜
【机 构】
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西北工业大学材料科学与工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1994年4期
【基金项目】
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香港蒋氏工业慈善基金
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