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设计了一种新型全柔性2-RRRP＋RRPR三平移微动并联激振台机构。在普通并联机构的、位置正解分析的基础上，利用矩阵法— 一阶影响系数法，推导出该并联微动激振台机构的微位移输出方程，为后续控制打下基础。最后，举例进行了理论计算，并用ADAMS工程软件对理论计算结果进行模拟，模拟结果显示，二者结果十分相近，进一步说明了用普通并联机构的速度分析方法— 一阶影响系数法可以比较容易地对全柔性机构主体机构的微位移进行分析，结果具有一定的准确性。