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用电镜对Ｓｉ（００１）基体上的Ｃｏ薄膜的室温相和稳定性进行了观察，高分辨像和小角解理的电子衍射结果均表明：室温下，Ｃｏ薄膜不发生反应，室温相为α－Ｃｏ，没有硅化物形成，Ｃｏ薄膜在经过３００℃２ｈ退火后，薄膜发生部分凝聚现象，凝固团由硅化物组成，３００℃退火后薄膜由Ｃｏ２Ｓｉ和ＣｏＳｉ两相组成。
Co薄膜的稳定性和室温相观察
【摘 要】
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用电镜对Ｓｉ（００１）基体上的Ｃｏ薄膜的室温相和稳定性进行了观察，高分辨像和小角解理的电子衍射结果均表明：室温下，Ｃｏ薄膜不发生反应，室温相为α－Ｃｏ，没有硅化物形成，Ｃｏ薄膜在经过３００℃２ｈ退火后，薄膜发生部分凝
【机 构】
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北京科技大学,湖南郴州工业学校
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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中科院北京电子显微镜实验室提供制样和分析条件基金,中关村地区联合测试基金
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