TiN基磁性薄膜的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Gloria_SHU

【摘要】

：

用射频磁控溅射技术制备了TiN掺Co的薄膜样品.400 ℃真空退火后,振动样品磁强计测量(VSM)表明,样品在室温下具有显著的铁磁性.其饱和磁化强度为2.93×108 A/m,饱和磁场强

【作者】

：

宋红强陈延学任妙娟季刚张云鹏

【机构】

：

山东大学

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

磁控溅射 TIN 磁性薄膜自旋电子学 magnetron sputtering TiN magnetic film spintronics

【基金项目】

：

国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用射频磁控溅射技术制备了TiN掺Co的薄膜样品.400 ℃真空退火后,振动样品磁强计测量(VSM)表明,样品在室温下具有显著的铁磁性.其饱和磁化强度为2.93×108 A/m,饱和磁场强度约160 kA/m,矫顽力32 kA/m.超导量子干涉仪(SQUID)测量M-T曲线得出其居里温度在360 K以上,X射线衍射实验表明样品具有TiN样品的衍射峰.利用四探针测试仪测量电阻率得出ρ=4.824×10-5 Ω·m.

其他文献

省法学会、省综合办召开“预防和处置群体性事件理论与实践研讨会”

由广东省法学会和广东省综治办联合举行的“预防和处置群体性事件理论与实践研讨会”于2006年11月30日在广州举行。广东省政协委员、广东省法学会副会长曾添贵，广东省委政法委

期刊

理论与实践群体性事件法学会处置预防广东政协委员专家学者

量刑的科学与正确——关于法院量刑的思考

刑事司法公正的核心是量刑，其科学、正确的标准为是否公正，是否完美地体现了刑罚目的的要求，是否能有力地发挥刑罚的功能。本文提出了依法量刑原则是我们量刑的基本原则，报应与预

期刊

量刑科学正确的标准量刑原则量刑模式量刑方法

关于岩溶矿床的几个问题

岩溶矿床是层状矿床的一种。近十多年来, 它作为一种崭新的矿床类型引起了国内外地质界的重视。本文介绍了这种矿床的形成机理和成矿模式,以及国外各种成因假说和典型矿例。

期刊

修宪技术的一次突破

2004年3月14日十届全国人大二次会议通过的宪法修正案，是对现行宪法第四次修改。这次修改内容非常广泛，涉及国家的指导思想，国家基本经济制度、国家制度与国家机关、公民基本权

期刊

修宪技术宪法宪政精神修宪机关宪法文本

离子束刻蚀法制作菲涅耳透镜

由于衍射光学元件独特的色散特性及体积小、重量轻可进行复制等优点，它在国防、生产及科研等领域的作用越来越重要，应用于光学成像系统，不仅能改善系统成像质量，而且能实现系统的

期刊

衍射光学元件离子束刻蚀菲涅耳透镜衍射效率DOEion beam etchingFresnel lensdiffractive efficiency

电子束曝光中的邻近效应修正技术

邻近效应是指电子在抗蚀剂和基片中的散射引起图形的改变，它严重地影响了图形的分辨率。有多种方法对邻近效应进行修正和剂量调整、图形调整等。我们以ＪＢＸ－５０００ＬＳ为手段，用三种方法：１．图形尺

期刊

电子束曝光邻近效应集成电路Electron beam lithographyProximity effect

“经济全球化趋势与法治建设”国际研讨会在北京举行

期刊

契约视野下的公司自治与政府干预——从“健力宝事件”看我国公司法律制度应强调的理念

在健力宝事件中三水区政府接管企业的行为的实质是行政权力对私权的粗暴侵犯。而在美国也曾发生过相似的政府行政权力干涉私人社团正常经营的事件——达特茅斯学院案，对案件的

期刊

公司自治政府干预公司法“健力宝事件”中国

高中数学新教材简介

期刊

指导思想编写高中数学教材

我国行政复议管辖制度研究

行政复议管辖问题是整个行政复议制度的有机组成部分，对行政复议的实施起着重要的作用。从1990年行政复议条例的制定到1999年行政复议法对行政复议管辖制度的修改，最终形成现在

期刊

行政复议管辖制度中国自我管辖具体行政行为管辖模式复议机关

TiN基磁性薄膜的研究

与本文相关的学术论文