【摘 要】
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Hydrogen distribution and content in diamond films deposited by DC arcjet under gas recycling mode was evaluated by nuclear reaction analysis (NRA). The films w
【出 处】
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Journal of University of Science and Technology Beijing(Engl
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Hydrogen distribution and content in diamond films deposited by DC arcjet under gas recycling mode was evaluated by nuclear reaction analysis (NRA). The films were characterized using scanning electron microscopy, X-ray diffraction and Raman spectrometry. The NRA results show that the hydrogen content in diamond films was approximately 0.6% (substrate temperature 770℃), and strongly depended on the substrate temperature. It was that the hydrogen content increased with the increase of the substratetemperature. The possibility of hydrogen trapping in the films was also discussed.
Hydrogen distribution and content in diamond films deposited by DC arcjet under gas recycling mode was was evaluated by nuclear reaction analysis (NRA). The NAR results show that the hydrogen content It was that the hydrogen content increased with the increase of the substrate temperature. The possibility of hydrogen trapping in the films was also discussed.
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