新型Ti—Si—C—N纳米复合超硬薄膜的高温热稳定性

来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chengzi1022

【摘要】

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用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）方法在高速钢基体上沉积出新型Ti—Si—C—N超硬薄膜．Ti—Si—C—N薄膜为纳米晶／非品复合结构（nc—Ti（C，N）／a-Si3N4／a-C—C），当薄膜中Si和C含量

【作者】

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郭岩畅庚榕吴贵智马胜利徐可为

【机构】

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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室

【出处】

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金属学报

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

Ti—Si—C—N 纳米复合超硬薄膜晶粒尺寸显微硬度热稳定性 Ti-Si-C-N superhard nanocomposite coating cr

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用脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）方法在高速钢基体上沉积出新型Ti—Si—C—N超硬薄膜．Ti—Si—C—N薄膜为纳米晶／非品复合结构（nc—Ti（C，N）／a-Si3N4／a-C—C），当薄膜中Si和C含量较高时，Ti（C，N）转变为TiC，晶粒尺寸减小到2—4nm．薄膜晶粒尺寸和硬度的高温热稳定性均随沉积态薄膜中的原始晶粒尺寸减小而提高，当原始晶粒尺寸在8—10nm之间时，晶粒尺寸和硬度热稳定性可达900℃；当原始晶粒尺寸在2—4nm之间时，晶粒尺寸和硬度热稳定性可达1000℃．薄膜硬度和

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