论文部分内容阅读
为了复制高精度、大直径薄光栅盘，对曝光装置中影响感光条件的支撑板进行了受力分析。将支撑板的力学分析归结为边界简支的圆形薄板的小挠度问题，通过理论计算得到了支撑板的挠度和厚度的计算关系式，为设计支撑板提供了理论依据。根据理论推导，选择旋转式曝光装置，采用直径为1000mm、厚度为40mm的支撑板，研制出了较高精度的大直径薄光栅盘，其最大直径误差为0．47”，均匀性误差为8％，满足了使用要求。