【摘 要】
：
薄膜体声波滤波器（FBAR）传感器的性能受结构和材料特性的影响很大。该文利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件,建立了FBAR传感器的二维、三维有限元结构模型。用氮化铝和氧化
【机 构】
：
中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,四川大学电气信息学院
论文部分内容阅读
薄膜体声波滤波器（FBAR）传感器的性能受结构和材料特性的影响很大。该文利用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件,建立了FBAR传感器的二维、三维有限元结构模型。用氮化铝和氧化锌材料作为压电薄膜对建立的模型做了固体力学和静电学仿真分析,得到了FBAR传感器的谐振频率、导纳特性曲线和谐振频率处的位移分布情况。通过分析发现氮化铝压电薄膜阻抗特性曲线更平滑,而氧化锌压电薄膜存在明显的寄生谐振峰的问题。针对氧化锌压电薄膜存在的寄生谐振峰进行了优化,仿真分析了电极边长尺寸和电极厚度对寄生谐振的影响,
其他文献
种子是最基本的农业生产资料,是农业增产的内因,是各项技术措施的载体。因此,搞好农作物种子的安全贮藏,是农业生产过程中的关键环节。本文重点叙述仓库贮藏种子的方法。1做
以往的教学中可以通过教师的范评引导学生互评,让学生在倾听他人发言后,用手势表示对或错。用语言评价学生,已经不能适应现在的课堂,为此本校改变原始教学方法,进行精准课堂
运算能力是数学素养的基础。在初中数学教学中，教师要关注学生运算能力的培养。长期以来，许多数学课堂往往侧重于公式的死记硬背，忽视知识的理解和应用，特别是运算素能方面，有些教师认识不足，也严重影响了学生的数学解题能力。为此，笔者从数学概念的分析、解题思维的指导、运算习惯的培养等方面提出改进建议。 探析概念，强化运算本质理解 数学运算能力的培养，首先要强调对学生数学概念的准确、深刻理解。充分理解数学
在国际金融危机背景下，国际资本流动、跨国投资与并购活动急剧萎缩，而中国的对外直接投资却异军突起．获得快速发展，有其外在原因和内生动力。
抛物线及其标准方程是普通高中课程标准实验教科书（人教A版）选修2-1中的第二章第四节的内容，是继椭圆、双曲线之后的第三大圆锥曲线，有着广泛的应用。本节内容在初中二次函数学习中已经探讨过，学生已经对抛物线并不陌生。根据抛物线定义推出的标准方程，也为以后用代数方法研究抛物线的几何性质和实际应用提供了必要的工具和基础，有着承上启下的作用。 教学目标 知识与技能：掌握定义;掌握抛物线的四种标准方程形式
孔子曾说过：“知之者不如好之者，好之者不如乐之者。”可见，兴趣对于学生的学习过程是多么重要。在小学阶段，学生的逻辑思维能力还不成体系，加之刚刚开始接触英语这门语言学科，过于应试型的教学很容易适得其反。针对小学阶段英语课堂中，学生兴趣不浓厚、缺乏信心等问题，教师可以通过结合生活情境，组织模拟大赛，开展社会实践，创造课堂轻松和谐的学习氛围，激发学生对英语的学习热情，真正将学生的生活和英语课堂结合起来，
在压电换能器的制作中,电极对其谐振和反谐振频率、机电耦合系数及品质因数等重要性能有着直接的影响。该文针对AlN压电薄膜复合结构,采用COMSOL Multiphysics有限元软件对电
现今我国大部分的地球系统科学研究型数据散落在地球科学相关领域的重大科研项目、科研院所和高等院校中等,难以有效直接支撑地球系统科学的研究。因此,有效共享和利用这些数据资源已经成为地球科学界迫切需要解决的国际热点问题,也是我国从地学大国走向地学强国,实现地球系统科学赶超国际水平的契机和重要基础。
可持续发展是世界各国的共同愿望。资源短缺、环境污染、气候变化和生活贫困是全人类共同面临的问题,应对这些问题是我们共同的责任,需要我们加强合作,共同探索新的应对思路
税收作为政府掌握的重要宏观调控手段，在促进技术创新中具有不可替代的重要作用。我国应当建立更加稳定、透明、高效的支持技术创新税收体系。