【摘 要】
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采用特定的工艺同一罩镀制三种不同基片倾斜角度下的氟化镱（YbF3）薄膜样品，分别采用原子力显微镜、红外分光光度计测量了单层膜的粗糙度、透射率，根据透射率值采用包络法计算了薄
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采用特定的工艺同一罩镀制三种不同基片倾斜角度下的氟化镱（YbF3）薄膜样品，分别采用原子力显微镜、红外分光光度计测量了单层膜的粗糙度、透射率，根据透射率值采用包络法计算了薄膜的折射率，并由堆积密度的计算公式计算了薄膜的堆积密度。测量及计算结果表明：随着基片倾斜角度即相应薄膜沉积角度的增加，薄膜的粗糙度变差，折射率及堆积密度变小。
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