悬臂梁式微电子加速度计有限元建模与动力学分析

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本文简要分析了微电子加速度计的工作原理,建立了悬臂梁式微电子加速度计的实体模型,采用有限元分析软件AN—SYS8.0对其进行模态分析、瞬态响应分析以及静电一结构耦合分析,考虑不同设计尺寸条件下器件的灵敏度特性,在瞬时激励下的位移和应力响应情况,并分析了静电力对器件性能的影响。
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