【摘 要】
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激光诱导向前转移是近些年来兴起的一种微加工技术,可以用来转移金属材料、生物 材料和各向异性材料等.进行了利用纳秒激光诱导沉积高粘度导电银浆的实验研究,并对接 收层上
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激光诱导向前转移是近些年来兴起的一种微加工技术,可以用来转移金属材料、生物 材料和各向异性材料等.进行了利用纳秒激光诱导沉积高粘度导电银浆的实验研究,并对接 收层上沉积的银浆进行观察分析,探讨了激光脉冲能量和与接收层的距离对沉积效果的影响,分析了沉积过程,沉积出连续银浆导线,并分析其导电特性.实验发现,当激光脉冲能量为 87 与接收层的距离为40 μm时,沉积点均匀稳定,直径为一百多微米.通过调节三维平台带动靶材移动,用交叉打点的方法进行沉积,可制备出连续银浆导线,导线的宽度约100 pm,电阻率达6.
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