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详细分析了基于激光全息技术，激光准直技术，激光光束漂移补偿技术和磁光调制补偿技术的综合运行，以单一激光束为基准，同时测量物体五维偏差的基本原理。通过标定和实验测量，在激光光源距测量靶标１ｍ时，该测量系统σ精度为：线位移〈２μｍ角位移〈４″。
同时测量物体五维几何偏差的新方法
【摘 要】
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详细分析了基于激光全息技术，激光准直技术，激光光束漂移补偿技术和磁光调制补偿技术的综合运行，以单一激光束为基准，同时测量物体五维偏差的基本原理。通过标定和实验测量，在激光
【机 构】
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天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1999年4期
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