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本文简介美国国家半导体公司采用激光光谱分析技术,测量半导体器件的封装湿度。结果表明,此技术不但比传统的质谱仪测定法更为精确,且重复性好。可供有关人员参考。
半导体器件的封装湿度测量
【摘 要】
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本文简介美国国家半导体公司采用激光光谱分析技术,测量半导体器件的封装湿度。结果表明,此技术不但比传统的质谱仪测定法更为精确,且重复性好。可供有关人员参考。
【机 构】
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上海铁路局工业公司
【出 处】
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环境条件与试验
【发表日期】
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1991年6期
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