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综述了近10年来国内外NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展，并对其发展进行了展望。其中，溅射、喷雾热分解、脉冲激光沉积等技术得到了有效应用；而对一些新的工艺方法，如溶胶-凝胶法、超声波增强化学镀技术等也进行了深入的研究。
NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展
【摘 要】
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综述了近10年来国内外NiZn铁氧体薄膜制备技术的研究进展，并对其发展进行了展望。其中，溅射、喷雾热分解、脉冲激光沉积等技术得到了有效应用；而对一些新的工艺方法，如溶胶-凝胶
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2007年F11期
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