【摘 要】
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本文使用原子力显微镜考察了硅掺杂类金刚石薄膜的表面形貌及粗糙度,同时分析了薄膜表面的粘附力和微观摩擦力学性能。实验表明,随着基底负偏压的增加,薄膜的表面粗糙度值逐
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本文使用原子力显微镜考察了硅掺杂类金刚石薄膜的表面形貌及粗糙度,同时分析了薄膜表面的粘附力和微观摩擦力学性能。实验表明,随着基底负偏压的增加,薄膜的表面粗糙度值逐渐减小;摩擦力和外加载荷成线性关系,且粘附力是微小载荷下影响固体滑动摩擦力的主要因素,并采用最佳拟合直线的斜率表征出样品的摩擦系数的大小。
In this paper, the surface morphology and roughness of silicon-doped diamond-like carbon films were investigated by atomic force microscopy. The adhesion and microscopic tribological properties of the films were also analyzed. Experiments show that with the increase of substrate negative bias, the surface roughness of the films decreases gradually. The frictional force is linear with the applied load, and the adhesion is the main factor that affects the sliding friction under the micro load. The slope of the best-fit straight line represents the size of the sample’s coefficient of friction.
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