【摘 要】
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采用Ｔｉ／Ｗ复合靶，用多弧离子镀技术沉积了Ｔｉ－Ｗ－Ｎ多元多层膜，并对其组织结构与性能进行了研究，结果表明：在本试验我元膜的结构形式为（Ｔｉ，Ｗ）２Ｎ最佳多层膜的结构形式为基体／Ｔｉ／ＴｉＮ／（ＴＹｉｙＷ１－ｙ）Ｎ／（Ｔｉ，Ｗ）２Ｎ，并具有较高的显微硬度和极低的
【基金项目】
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广东省高教厅基金!项目 (970 0 32 ),三束材料改性国家重点实验项目!(96 0 0 11)
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采用Ｔｉ／Ｗ复合靶，用多弧离子镀技术沉积了Ｔｉ－Ｗ－Ｎ多元多层膜，并对其组织结构与性能进行了研究，结果表明：在本试验我元膜的结构形式为（Ｔｉ，Ｗ）２Ｎ最佳多层膜的结构形式为基体／Ｔｉ／ＴｉＮ／（ＴＹｉｙＷ１－ｙ）Ｎ／（Ｔｉ，Ｗ）２Ｎ，并具有较高的显微硬度和极低的孔隙率，在８００℃具有很好的抗氧化性能，在沉积过程中存在着多元合金膜层与复合靶的成分离析现象，这与靶材的结构有关。
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