采用Ti/W复合靶 ,用多弧离子镀技术沉积了Ti-W -N多元多层膜 ,并对其组织结构与性能进行了研究 .结果表明 :在本试验条件下多元膜......

采用Ｔｉ／Ｗ复合靶，用多弧离子镀技术沉积了Ｔｉ－Ｗ－Ｎ多元多层膜，并对其组织结构与性能进行了研究，结果表明：在本试验我元膜的结构形式为（Ｔｉ，Ｗ）２Ｎ最佳多层膜的结......