【摘 要】
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压电薄膜具有优异的压电性能、铁电性能和光学非线性能,被广泛的应用于存储器、微传感器和微驱动器等领域中.采用溶胶-凝胶法制备了0.95(0.8Bi 0.5 Na 0.5 TiO 3-0.2Bi 0.5 K
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(51502127),聊城大学科技文化创新基金项目(26312161907)资助
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压电薄膜具有优异的压电性能、铁电性能和光学非线性能,被广泛的应用于存储器、微传感器和微驱动器等领域中.采用溶胶-凝胶法制备了0.95(0.8Bi 0.5 Na 0.5 TiO 3-0.2Bi 0.5 K 0.5)TiO 3-0.05SrTiO 3(BNT-BKT-ST)无铅压电薄膜,并在氧气气氛和氮气气氛下分别对薄膜进行了烧结处理,研究了烧结气氛对其结构、漏导、介电、压电和铁电性能的影响.阐明了通过烧结气氛控制薄膜微观结构,从而调控薄膜的电学性能的物理机制.结果表明:与氮气气氛相比,在氧气气氛下烧结获得的
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