Regular uniform large-area subwavelength nanogratings fabricated by the interference of two femtosec

来源 :中国光学快报(英文版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:wiaini0
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Inhomogeneity and low efficiency are two important factors that hinder the wide application of laser-induced periodic surface structures.Two-beam interference is commonly used to fabricate gratings with interference periods.This study reports regular and uniform periodic ripples fabricated efficiently by the interference of two femtosecond laser beams via a cylindrical lens.The interference period is adjusted to be an integer multiple of the wavelength of a surface plasmon polariton.Regular and uniform subwavelength nanogratings (RUSNGs)on a silicon wafer of a diameter of 100 mm are fabricated with a scanning velocity of 6-9 mm/s.Bright and pure colors (including purple,blue,and red) are demonstrated on different patterns covered with RUSNGs.
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