有机真空镀膜掩膜板的制作方法

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本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中,用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术,它是在线切割及光刻腐蚀的基础上,利用齿、槽对镍铬合金丝进行限位,从而形成精细的掩膜板,分辨率为3条线/mm。可实现平板显示屏的矩阵选址。
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