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期刊论文
有机真空镀膜掩膜板的制作方法
有机真空镀膜掩膜板的制作方法
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyllirui
【摘 要】
:
本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中,用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术,它是在线切割及光刻腐蚀的基础上,利用齿、槽对镍铬合金丝进行限位,从而形成精细的掩膜板
【机 构】
:
吉林大学
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2006年3期
【关键词】
:
有机电致发光器件
制作过程
真空镀膜
掩膜板
镍铬合金丝
平板显示屏
加工技术
光刻腐蚀
在线切割
分辨率
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本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中,用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术,它是在线切割及光刻腐蚀的基础上,利用齿、槽对镍铬合金丝进行限位,从而形成精细的掩膜板,分辨率为3条线/mm。可实现平板显示屏的矩阵选址。
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