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本文提出在氧化铝陶瓷基板上,采用两步溅射铜膜的方法来制备陶瓷覆铜板,即先在低氩气压下溅射形成Cu氧化物过渡层,再利用高气压下......
本发明公开了一种在有机电致发光器件制作过程中,用于真空镀膜的掩膜板及其制作加工技术,它是在线切割及光刻腐蚀的基础上,利用齿、槽......